英特爾完成首臺商用高數值孔徑EUV光刻機組裝
2024-04-19 09:24
4月18日，美國芯片公司英特爾宣布，已接收并完成組裝業界首臺商用高數值孔徑（High NA）極紫外（EUV）光刻機。據介紹，這套重達165噸的設備是ASML與英特爾合作數十年后開發的新一代光刻設備，現位于俄勒岡州的D1X制造工廠，正在進行最后的校準。
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